男。分别于清华大学无线电电子学系获学士学位,复旦大学电子工程系获硕士和博士学位。曾先后在香港科技大学、新加坡南洋理工大学和日本东北大学(Tohoku U.)工作,任博士后、研究员和讲师(中核的研究机关研究员)。从2001年起入选中科院“百人计划”回国,现任中科院上海微系统与信息技术研究所研究员,博士生导师,传感技术国家重点实验室常务副主任。兼任上海交通大学兼职教授、兼职博士生导师。是国内多个专业学会的委员或理事,任IEEE International Conference on Sensors 02、03、04的技术程序委员会委员和International Journal of Information Acquisition的编委。 长期从事集成微纳电子机械系统(MEMS/NEMS)、微电子和微纳机械集成技术以及微传感器技术等相关领域的研究工作,有多项国际前沿的科研成果。授权和受理专利十余项。学术论文发表在包括IEDM、APL等会议和期刊上,其中SCI收录近三十篇,EI收录四十余篇,领域内国际重要会议近二十篇,SCI他人引用六十余次。2004年中科院“百人计划”终期评审被评为优秀并得到“百人计划”继续支持。2004年作为第一发明人获得第五届中国国际展览会金奖 。 目前研究领域包括:集成微电子制造技术,硅基集成微纳机械技术,微机械传感器和执行器技术,微电子机械系统(MEMS)技术和纳电子机械系统(NEMS)技术。目前承担中国科学院重大项目、863项目、上海市重大项目和国家自然科学基金等研究课题多项。